I slabhra iomlán an tionscail leathsheoltóra, tá próiseáil agus déantúsaíocht ar cheann de na naisc is tábhachtaí. Le margadh chomh mór sin, soláthraíonn trealamh próisis leathsheoltóra an bonn déantúsaíochta do dhéantúsaíocht ar scála mór leathsheoltóra. Díreoidh an páipéar seo ar cad iad na príomh-threalamh sa phróiseas táirgthe leathsheoltóra.
1, foirnéise criostail aonair
Feidhm trealaimh: ábhair leathsheoltóra leá, criostail aonair a tharraingt, le haghaidh déantúsaíocht na bhfeistí leathsheoltóra ina dhiaidh sin, billet leathsheoltóra criostail aonair a sholáthar.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: PVA TePla AG (An Ghearmáin), Ferrotec (an tSeapáin), DEARADH QUANTUM (SAM), Gero (an Ghearmáin), KAYEX (SAM).
Mórbhrandaí baile: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' an Huade, The 48th Institute de Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Maighnéad Teirmeach Shanghai Shenhe.
2. Foirnéis epitaxial chéim gháis
Feidhm trealaimh: timpeallacht phróisis shonrach a sholáthar d’fhás epitaxial chéim an gháis, fás criostail tanaí a bhaint amach le caidreamh comhfhreagrach le céim criostail criostail aonair ar an gcriostal aonair, agus ullmhúchán bunúsach a dhéanamh chun réadú feidhmiúil doirteal criostail aonair. Is próiseas speisialta é epitaxy chéim gháis de thaisceadh gaile ceimiceach, ina leanann struchtúr criostail an chiseal tanaí fáis den tsubstráit criostail aonair agus a fhreagraíonn do threoshuíomh criostail an tsubstráit.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Ábhair Fheidhmeacha.
Mórbhrandaí baile: 48ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., TEO., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Córas epitaxy bhíoma mhóilíneach
Feidhmeanna trealaimh: Córas epitaxy bhíoma mhóilíneach, ag soláthar an trealaimh phróisis chun an scannán a fhás ar an dromchla bun de réir na sainiúil; Is teicníc é epitaxy bhíoma mhóilíneach (MBEA) chun scannáin tanaí criostail aonair a ullmhú. Úsáidtear é chun scannáin tanaí a fhás ciseal ar chiseal feadh ais criostail an tsubstráit faoi shubstráit iomchuí agus faoi choinníollacha oiriúnacha.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Riber (An Fhrainc), Veeco (SAM), DCA Instruments (an Fhionlainn), SVTAssociates (SAM), NBM (SAM), Omicron (an Ghearmáin), MBE-Komponenten (An Ghearmáin), Oxford Applied (UK) Research (OAR ) cuideachta.
Mórbhrandaí baile: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., TEO., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., TEO.
4. Foirnéis ocsaídiúcháin (VDF)
Feidhm trealaimh: Maidir le cóireáil ocsaídiúcháin ábhair leathsheoltóra, is nasc fíor-riachtanach sa phróiseas próiseála leathsheoltóra é an t-atmaisféar ocsaídiúcháin riachtanach a sholáthar, chun an dearadh a bhfuiltear ag súil leis maidir le próiseas cóireála ocsaídiúcháin leathsheoltóra a bhaint amach.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: UK Thermco Company, an Ghearmáin Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG cuideachta.
Mórbhrandaí baile: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, 48ú institiúid Grúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., TEO., 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne.
5. Córas Taisceadh Gal Ceimiceach faoi bhrú íseal (LPCVD)
Feidhm trealaimh: Tugtar an gal ina bhfuil an gníomhaire imoibriúcháin gásach nó leachtach arb é atá ann eilimintí an scannáin agus na ngás eile atá riachtanach don imoibriú isteach i seomra imoibrithe an trealaimh LPCVD, agus gintear an scannán trí imoibriú ceimiceach ar dhromchla an tsubstráit .
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Hitachi International Electric Company,
Mórbhrandaí baile: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., 48ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Monarcha Ionstraim Beijing, Monarcha Innealra Shanghai.
6. Córas Taisceadh Gal Ceimiceach Feabhsaithe Plasma (PECVD)
Feidhm trealaimh: bain úsáid as urscaoileadh glow sa seomra taisce, déan é a ianú agus imoibriú ceimiceach a dhéanamh ar an tsubstráit chun ábhar scannáin tanaí leathsheoltóra a thaisceadh.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Proto Flex (SAM), Tokki (an tSeapáin), Shimadsu (an tSeapáin), Lam Research (SAM), ASM International (An Ísiltír).
Mórbhrandaí baile: 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, monarcha Ionstraim Beijing, Monarcha Innealra Shanghai.
7. Tábla Sputtering Magnetron (MSA)
Feidhmeanna trealaimh: trí réimse maighnéadach dúnta atá comhthreomhar leis an spriocdhromchla sa sputtering bipolar, agus an réimse leictreamaighnéadach orthogonal a fhoirmítear ar an spriocdhromchla, tá an leictreon tánaisteach ceangailte le limistéar sonrach an spriocdhromchla, chun dlús ian ard agus ard a bhaint amach ianú fuinnimh, agus taisctear na sprioc-adamh nó móilíní ar an tsubstráit le sputtering ardráta chun scannán a dhéanamh.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, cuideachta Platit, cuideachta Balzers agus cuideachta Cemecon.
Mórbhrandaí baile: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., 48ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Kerui Equipment Co., LTD., Monarcha Innealra Shanghai.
8. Meaisín snasta Meicniúil Ceimiceach (CMP)
Feidhm trealaimh: tríd an meilt mheicniúil agus an díscaoileadh leacht ceimiceach" creimeadh" den iarmhairt chomhcheangailte, atá le snasú (leathsheoltóir).
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Ábhair Fheidhmeacha, Norfa Systems, Rtec.
Mórbhrandaí baile: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, meaisín liteagrafaíochta
Feidhm na feiste: gliú go cothrom ar dhromchla an tsubstráit leathsheoltóra (sliseog sileacain), aistrigh an patrún ar an masc go fótoresist, agus go sealadach" cóip" an gléas nó an struchtúr ciorcad chuig an sliseog sileacain.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: ASML (An Ísiltír), Leathsheoltóir Pan Lin, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Mórbhrandaí baile: Institiúid Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne 48ú Institiúid, 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Monarcha Innealra Shanghai, Chengdu Nanguang Industrial Co., TEO.
10. Córas Eitseála ian Imoibríoch (RIE)
Feidhmeanna trealaimh: cuirtear an voltas ardmhinicíochta i bhfeidhm idir na leictreoidí pláta chun ciseal ian a tháirgeadh na céadta miocrón tiubh, agus cuirtear patrún tionchair ardluais ian sa phatrún, chun eitseáil imoibriú ceimiceach agus tionchar fisiceach a bhaint amach, agus chun próiseáil leathsheoltóra a bhaint amach agus múnlú.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Japan Evatech Company, cuideachta NANOMASTER na Stát Aontaithe, Cuideachta Singeapór REC, cuideachta JuSung na Cóiré Theas, Cuideachta TES na Cóiré Theas.
Mórbhrandaí baile: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Grúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne san ochtú Institiúid is daichead.
11. Córas eitseála plasma ICP
Feidhmeanna trealaimh: adamh nó móilín gáis amháin nó níos mó atá measctha sa seomra imoibrithe, faoi ghníomhaíocht fuinnimh sheachtraigh (amhail minicíocht raidió, micreathonn, srl.) Chun plasma a fhoirmiú, ar thaobh amháin, an grúpa gníomhach sa phlasma agus an t-ábhar dromchla atá le himoibriú ceimiceach eitseáilte, ag giniúint táirgí so-ghalaithe; Ar an láimh eile, déantar na hiain sa phlasma a threorú agus a luathú faoi ghníomhaíocht brú claonta chun creimeadh treorach agus creimeadh luathaithe an dromchla eitseáilte a bhaint amach.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Oxford Instruments (UK), Torr (USA), Gatan (USA), Quorum (UK), Leeman (USA), Pelco (USA).
Mórbhrandaí baile: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Institiúid Teicneolaíochta Leictreonach na Síne 48ú Institiúid, Teicneolaíocht Goder ion (Hong Cong) Holding Co., Ltd., Institiúid na Micreileictreonaice, Acadamh Eolaíochtaí na Síne, Micreictreonaic Thuaidh , Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, eitseáil fliuch agus meaisín glantacháin
Feidhm trealaimh: Is é eitseáil fhliuch an t-ábhar eitseála sáithithe i dtuaslagán eitseála do theicneolaíocht creimthe. Is éard atá i gceist le glanadh ná éilliú a laghdú, rud a d’fhéadfadh dul i bhfeidhm ar fheidhmíocht feiste, fadhbanna iontaofachta a bheith mar thoradh air, agus an toradh a laghdú, a éilíonn glanadh críochnúil roimh gach ciseal den chéad phróiseas eile nó roimh an gcéad chiseal eile.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Scáileán (an tSeapáin), SEMES (An Chóiré), Tokyo Electron (an tSeapáin), Lam Research (Meiriceá).
Mórbhrandaí baile: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., TEO., 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Taiwan Hongsu.
13. Meaisín ionchlannú ian (IBI)
Feidhm trealaimh: dópáil an limistéir gar do dhromchla an leathsheoltóra.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. agus Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (faighte ag AMAT).
Mórbhrandaí baile: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, binse tástála probe
Feidhm na feiste: Tríd an teagmháil probe le ceap na feiste leathsheoltóra, déantar tástáil leictreach chun a sheiceáil an gcomhlíonann innéacs feidhmíochta an leathsheoltóra na riachtanais feidhmíochta dearaidh.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: cuideachta Ingun na Gearmáine, cuideachta QA, cuideachta MicroXact, cuideachta Ecopia, cuideachta Leeno.
Mórbhrandaí baile: 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., TEO., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Meaisín tanaithe wafer
Feidhm: laghdaigh tiús an wafer trí snasú.
Príomhbhrandaí idirnáisiúnta: Cuideachta DISCO na Seapáine, an Ghearmáin G& cuideachta N, cuideachta OKAMOTO na Seapáine, cuideachta Iosrael Camtek.
Mórbhrandaí baile: Co Tionscail Ardteicneolaíochta Lanzhou Lanxin, TEO., Co Déantúsaíochta Trealamh Meilt Shenzhen Fonda, TEO., Co Déantúsaíochta Meaisín Meilt Shenzhen Jinzhili, TEO., Weianda Grinding Equipment Co., TEO., Shenzhen Huannifeng Co Teicneolaíochta, TEO.
16. Meaisín Scribing Wafer (DS)
Feidhm na feiste: An wafer, gearrtha i bpíosaí beaga Die.
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: cuideachta OEG na Gearmáine, Cuideachta DISCO na Seapáine.
Mórbhrandaí Intíre: Tá monarcha meaisín an iarthuaiscirt, hui sheng leictreonach, ag grúpa teicneolaíochta leictreonaice na Síne, Beijing kechuang trí thús a chur le teicneolaíocht fhótaileictreach foinse., TEO., Institiúid teicneolaíochta ionstraimíochta shenyang, an meaisín meaisín thiar thuaidh. cuideachta innealra agus trealaimh leictreonaigh, lanzhou: léasair, comhlacht ardteicneolaíochta tionscail, TEO., trealamh léasair ruby shenzhen rub., TEO., oibrí Wu Hansan, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Technology.
17. Sreang Bonder
Feidhm na feiste: Ceangail an Pad ar an sliseanna leathsheoltóra leis an Pad ar an mbiorán leis an sreang miotail seoltaí (sreang óir).
Mórbhrandaí idirnáisiúnta: American Ottey, TPT na Gearmáine, an Ostair FK, an Mhalaeisia UNISEM.
Mórbhrandaí baile: 45ú Institiúid Ghrúpa Teicneolaíochta Leictreonaic na Síne, Co Forbartha Teicneolaíochta Beijing Transhijie, TEO., Pacáistiú agus Tástáil Chuarda Comhtháite Yuxin (Chengdu), TEO. (Infheistíocht Yunisan na Malaeisia), Co Trealamh Uathoibrithe Shenzhen Kaijiu, TEO.